ATOS比例閥的主閥一般來說和換向閥一樣是滑閥結構，只不過閥芯的換向不是靠電磁鐵來推動，而是靠前置級閥輸出的液壓力來推動，這一點和電液換向閥比較相似，只不過電液換向閥的前置級閥是電磁換向閥，而伺服閥的前置級閥是動態特性比較好的噴嘴擋板閥或射流管閥。
也就是說，伺服閥的主閥是靠前置級閥的輸出壓力來控制的，而前置級閥的壓力則來自于伺服閥的入口p，假如p口的壓力不足，前置級閥就不能輸出足夠的壓力來推動主閥芯動作。
而我們知道，當負載為零的時候，如果四通滑閥*打開，p口壓力=t口壓力+閥口壓力損失（忽略油路上的其它壓力損失），如果閥口壓力損失很小，t口壓力又為零，那么p口的壓力就不足以供給前置級閥來推動主閥芯，整個伺服閥就失效了。所以伺服閥的閥口做得偏小，即使在閥口全開的情況下，也要有一定的壓力損失，來維持前置級閥的正常工作。
伺服閥其實缺點極多：能耗浪費大、容易出故障、抗污染能力差、價格昂貴等等等等，好處只有一個：動態性能是所有液壓閥中的。就憑著這一個優點，在很多對動態特性要求高的場合不得不使用伺服閥，如飛機火箭的舵機控制、汽輪機調速等等。動態要求低一點的，基本上都是比例閥的天下了。
ATOS比例閥對流量的控制可以分為兩種:一種是開關控制:要么全開、要么全關，流量要么大、要么小，沒有中間狀態，如普通的電磁直通閥、電磁換向閥、電液換向閥。另一種是連續控制:閥口可以根據需要打開任意一個開度，由此控制通過流量的大小，這類閥有手動控制的，如節流閥，也有電控的，如比例閥、伺服閥。所以使用比例閥或伺服閥的目的就是:以電控方式實現對流量的節流控制(當然經過結構上的改動也可實現壓力控制等)，既然是節流控制，就必然有能量損失，伺服閥和其它閥不同的是，它的能量損失更大一些，因為它需要一定的流量來維持前置級控制油路的工作。
ATOS比例閥結構原理：
ATOS比例閥輸入信號增大，供氣用電磁閥先導閥1換向，而排氣用電磁先導閥7處于復位狀態，則供氣壓力從SUP口通過閥1進入先導室5，先導室壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開啟，排氣閥芯3關閉，產生輸出壓力。此輸出壓力通過壓力傳感器6反饋至控制回路8。在這里，與目標值進行快速比較修正，知道輸出壓力與輸入信號成一定比例為止，從而得到輸出壓力與輸入信號的變化成比例的變化。由于沒有噴嘴擋板機構，故閥對雜質不敏感，可靠性高。
ATOS比例閥
DHZO-TE-071-S5 40 /PE
DHZO-TE-073-S5
DKZA-A-173-L5/PA-M/7
DKZO-A-151-S5
DKZO-A-171-L5
DKZO-A-173-S5
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DKZOR-A-151-S5/18 40
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DKZOR-A-153-L5/B
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DKZOR-A-173-D5
DKZOR-A-173-L5
DKZOR-A-173-L5/18 40
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DKZOR-A-173-S5
DKZOR-A-173-S5/18
DKZOR-AE-171-L5 10
DKZOR-AE-171-S5
DKZOR-AE-171-S5 10/WG
DKZOR-AE-171-S5/Y 10
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DKZORC-A-151-S5/18
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DKZOR-T-171-L5
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DKZOR-T-173-L5 40
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DKZOR-TE-171-L5
DKZOR-TE-171-L5/I 40
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美國MOOG穆格，美國ASCO電磁閥，美國MAC電磁閥，美國NUMATICS紐曼蒂克，美國PARKER派克氣動液壓，美國VICKERS威格士，美國ROSS
英國海隆諾冠NORGREN
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